芯源微：背靠偉大的市場 打造受社會尊重的世界級企業

編者按：東北地區工業體系完備、產業基礎雄厚、科教資源富集，是我國重要的裝備制造業基地。伴隨著數字化時代的到來，東北裝備制造業大力推進自主創新，重大技術裝備自主化成果顯著，東北制造正逐漸變身東北“智造”，為國傢重大戰略提供有力支撐。本報今起推出“實探東北高端裝備制造業樣本”系列報道，走進東北三省的相關上市公司，充分展示這些公司在科技創新、產業升級方面取得的成績，助力東北全面振興。

證券時報記者 孫憲超

5月11日，一臺前道物理清洗機從位於遼寧省沈陽市渾南區彩雲路1號的芯源微(688037)廠區運往客戶處，這是芯源微生產的第2000臺設備。

第2000臺設備出廠，在芯源微發展過程中具有裡程碑意義。從芯源微創立到第100臺設備出廠用時9年，而從第1900臺設備到第2000臺設備出廠僅用4個月時間，意味著芯源微已經進入高速發展階段。

芯源微2023年12月登陸科創板，系遼寧省科創板第一股。2023年至2023年，芯源微的營業收入和凈利潤連續4年保持快速增長。

近日，證券時報社常務副總編輯周一帶領“實探東北高端裝備制造業樣本”采訪組走進芯源微，與公司董事長兼總裁宗潤福面對面，實探公司發展新動向，以及打造受社會尊重的世界級企業的行動計劃。

打破壟斷

據宗潤福介紹，曾經擔任中國科學院院長的路甬祥院士將中國科學院的定位形象地描述為“兩個輪子”，即一個輪子面向國傢重大戰略需求和基礎研究，另一個輪子面向國民經濟主戰場，兩個輪子比翼齊飛。基於這樣的背景，中國科學院沈陽自動化研究所在先進制造領域確定瞭幾個重點發展方向，其中一個就是半導體設備。

2002年，時任中國科學院沈陽自動化研究所研究室主任的宗潤福被委以重任，領銜創建芯源微公司。“芯源微是中國最早成立的面向半導體設備的極少數企業之一。”宗潤福介紹，公司二十年磨一劍，從零起步，立足自主研發，產品打破國外廠商壟斷，填補國內空白。

芯源微的發展並非一帆風順。創業初期，由於國內的半導體市場還未形成，有限的客戶也沒有擴產需求，一度舉步維艱，宗潤福也曾為籌措員工下個月工資而發愁。最終，憑借堅韌、堅定、堅持的個性，加之充分發揮在中國科學院工作培養出來的科研作風和狼性文化，宗潤福帶領芯源微度過瞭最困難的幾年。

“在最困難的那幾年，芯源微也面臨著很多誘惑，但始終保持初心，沒有像一些企業那樣去做二手設備翻新賺快錢，而是堅定地走自主研發之路。”宗潤福說。

機會總是垂青有準備的人，芯源微在2009年迎來瞭重要轉機。當年，國內LED行業快速興起，LED芯片的需求量大幅增加。而芯源微的技術平臺和產品水平具有明顯競爭優勢，特別是經過自主創新持續研發迭代後，產品性能全面超過進口設備，使得公司相關設備的市場占有率快速提升，最終超過50%。

“2009年，芯源微承擔瞭國傢重大專項，不隻科研經費有瞭保障，這也意味著公司進入到瞭國傢隊，不再隻是一傢地方企業。”宗潤福說，自那時開始，芯源微連續兩次承擔國傢02科技重大專項，連續獲評國內半導體設備十強，是首批國傢級專精特新“小巨人”企業。

2023年，芯源微成功在上交所科創板上市，成為遼寧省科創板第一股、國內半導體光刻工藝設備第一股。目前，芯源微已形成瞭前道塗膠顯影設備、前道清洗設備、後道先進封裝設備、化合物等小尺寸設備四大業務板塊，產品已完整覆蓋前道晶圓加工、後道先進封裝、化合物半導體等多個領域。

“公司主賽道前道塗膠顯影設備是半導體產線上唯一與光刻機聯機作業的核心設備，以體型大、單元數量多、軟件調度復雜、集成度高著稱。”宗潤福說，該賽道國內市場空間約為70億元，長期被日本廠商高度壟斷，現階段公司在國內市占率僅為10%左右，是國內前道產線上少數幾個國產化率仍處於較低水平的“卡脖子”領域，未來增長天花板很高。

據介紹，經過多年的研發、驗證和量產應用，芯源微前道塗膠顯影設備完成瞭28nm及以上工藝節點的全覆蓋，在客戶端也已有數十臺光刻機的成功聯機經驗，是國內唯一可以提供量產型塗膠顯影設備的廠商。特別是最近兩年，隨著芯源微產品成熟度和競爭力的提升，客戶認可度不斷提升，下遊客戶數量也在快速增加。

“這個世界上根本沒有正確的選擇，我們隻不過可以通過努力奮鬥，使當初的選擇變得正確。”宗潤福說，未來3年至5年，公司希望將該品類國內市占率做到40%以上，實現簽單規模的大幅提升。

自主創新

2024年3月，工業和信息化部公佈瞭第八批制造業單項冠軍企業名單，芯源微憑借塗膠顯影機產品獲評“國傢級制造業單項冠軍企業”。能夠獲此殊榮，很大程度上得益於公司的研發實力。

宗潤福表示，作為典型的技術密集型行業，持續高強度的研發投入對於半導體設備公司保持技術卡位優勢、搶占下遊市場至關重要，研發是硬科技企業的“生命線”，是實現科創企業持續“造血”功能的關鍵手段，沒有哪一個產品能夠“一招鮮吃遍天”。

“雖然我們現在距離國際先進水平正在快速地縮短差距，但也要清醒地認識到，我們和國際先進水平還是有全方位的差距，當前我們頭部企業還沒有足夠的體量、沒有足夠的創新能力、沒有足夠的競爭力去跟國際一線的大公司全方位抗衡和競爭。”宗潤福說，“我們要創新引領，不能總是停留在跟隨階段。我們要堅持長期主義，聚焦主業、聚焦核心競爭力，隻有腳踏實地才能行穩致遠”。

塗膠顯影機作為半導體產線上唯一與光刻機聯機作業的重要設備，技術發展方向主要依據主流光刻機的發展路線。目前，公司第三代架構浸沒式高產能塗膠顯影機在復雜光刻工藝下已實現和全球主流光刻機聯機量產工作。“隨著光刻機產能不斷提升，公司已佈局新一代更高產能的塗膠顯影機架構，新一代機臺將應用更高工藝精度的超薄成膜、超細線寬均一性、精細缺陷控制等技術，公司將持續提升塗膠顯影設備各項核心工藝指標，加速高端塗膠顯影設備的國產化替代進程。”宗潤福說。

芯源微通過自主創新，逐步形成瞭知識產權完全自主可控的前道塗膠顯影設備發展路線和技術積累。公司的最新產品采用雙對稱的整機架構，完全突破競品當前的專利佈局，並規避當前主流設備熱制程與濕制程相交互的問題。公司的熱盤超高精度均勻烘烤技術、晶圓邊緣曝光系統的偏差補償技術、塗佈單元省膠工藝技術等多個核心工藝領域均有所突破，在客戶端量產應用，實現部分核心技術行業領先。

2023年，芯源微新一代高產能物理清洗機已發給國內重要存儲客戶開展驗證。作為公司自主研發的戰略性新產品前道化學清洗機KS-CM300/200，已於2024年3月正式公開發佈，機臺具有高工藝覆蓋性、高穩定性、高潔凈度、高產能等多項核心優勢，已獲得國內重要客戶驗證性訂單，該機臺的推出，標志著公司從前道物理清洗領域成功跨入技術含量更高、市場空間更大的前道化學清洗領域，將公司前道產品（塗膠顯影+清洗）的國內市場空間由原來的一百億元大幅提升至兩百億元，進一步完善瞭公司在前道領域的戰略佈局。

據瞭解，2023年至今，芯源微年度研發費用占營收比重均保持在10%以上，2023年研發投入達到2023年的4倍以上，近4年研發投入總規模接近5億元，年均復合增速超過60%。

截至2023年底，芯源微共獲得專利授權286項，其中發明專利181項（中國大陸地區發明專利161項，中國臺灣地區發明專利18項，美國發明專利2項），實用新型專利69項，外觀設計專利36項；擁有軟件著作權78項。

匯聚人才

“芯源微除瞭要持續投入研發之外，還要持續引進人才，畢竟，人才是企業發展的第一要素。”宗潤福說。

芯源微所屬的半導體專用設備絕對是屬於高科技行業，公司的辦公地和註冊地均位於我國東北地區的遼寧省沈陽市。

宗潤福認為，芯源微地處東北，並非沒有優勢。首先，遼沈地區作為我國重要的老工業基地，擁有雄厚的工業基礎和產業配套能力及裝備人才資源，這些人才技術紮實、穩定性高，為企業提供瞭堅實的根基。近年來，高端裝備制造、電子信息等新興產業在遼沈地區發展迅速，促進瞭技術創新和產業升級，同時也為地區經濟發展註入瞭新的活力，人才集聚效應明顯。芯源微作為遼沈地區半導體裝備的細分龍頭，在機械研發設計、電氣控制、生產制造等人才吸引方面，充分享受到瞭遼沈地區老工業基地的人才資源紅利。

另外，東北地區擁有一批在工科領域享有盛譽的985院校，如哈爾濱工業大學、東北大學、大連理工大學等，在機械、電氣、計算機、材料、微電子等工科領域具有顯著優勢。芯源微作為國內領先的高端半導體裝備制造企業，可為高素質人才提供更有競爭力的薪酬水平，吸引瞭一批高素質人才留在東北、留在沈陽就業。同時，沈陽的生活成本較低，為人才提供瞭更具有性價比的生活條件。

宗潤福說，芯源微的快速發展得益於沈陽裝備制造的人才基礎優勢，通過承擔國傢重大專項及地方重大科研任務、開展專題技術培訓等方式自主培養瞭半導體設備的設計制造、工藝制程、軟件開發與應用等多種學科的人才。

除此之外，芯源微在上海臨港、廣州黃埔設立子公司，靠近半導體產業發達地區“長三角”“珠三角”，有豐富的行業人才資源、高校資源。公司可以充分發揮上海、廣州的“人才橋頭堡”作用，積極吸引半導體行業技術及應用人才，為公司所用。

宗潤福說，人才合作一定是開放的，一定要以國際化的開放視野擁抱人才合作。芯源微依托設立在日本的“商務中心”和“研發中心”，廣泛開展國際合作、內引外聯，引進有國際視野、工匠精神的國際人才為公司貢獻寶貴價值，縮短與國際先進水平的差距。

宗潤福特別感恩科創板的加持，正是因為在科創板成功上市，不但令芯源微的品牌價值及市場影響力大幅提升，對人才的吸引力也顯著增強。同時科創板完善的融資機制及激勵手段，為公司解決瞭高速發展過程中面臨的資金瓶頸及人才激勵難題，助力公司快速實現研、產、供、銷全體系佈局的提質加速，經營規模穩步提升。

發展願景

2023年至2023年，芯源微的營業收入和凈利潤連續4年均保持快速增長。“雖然2023年的凈利潤還在增長，但是增速相較之前有所放緩。”宗潤福說。

據瞭解，經過2023年、2023年兩年擴產高峰期，2023年國內前道晶圓廠擴產力度有所放緩，設備采購等資本開支有所下降。這為國內半導體設備行業帶來瞭風險與機遇並存的全新發展格局，包括塗膠顯影在內的國產設備“短板”領域將利用窗口期，加快在不同客戶端的評估和導入，為後續快速提升國內市場占有率積蓄力量。

芯源微在後道先進封裝領域深耕多年，所生產的塗膠顯影設備、單片式濕法設備連續多年作為主流機型批量應用於臺積電、盛合晶微、長電科技、華天科技等海內外一線大廠，已經成為眾多知名客戶的首選品牌，獲得瞭國內領先的市場份額。

芯源微後道產品銷售主要以國內為主。近兩年，公司後道塗膠顯影機已進入多傢海外客戶供應鏈體系，海外客戶占比也在持續提升。“2023年，後道先進封裝處於周期性低位，2024年上半年，國內主要先進封裝客戶的稼動率已出現回暖跡象，行業景氣度向上，公司後道產品簽單表現良好。”宗潤福說。

值得一提的是，目前傳統產品已進入增長瓶頸期，跟隨行業周期性有所波動。基於在先進封裝領域多年的技術積累和客戶儲備，芯源微已快速切入到新興的Chiplet大市場，成功推出瞭包括臨時鍵合、解鍵合、Frame清洗等在內的多款新產品，並實現瞭較好的簽單。未來，芯源微也將繼續圍繞頭部客戶需求，持續開發其他Chiplet新品類，不斷豐富公司在先進封裝領域的產品佈局。

據介紹，截至2023年底，公司在手訂單含稅約22億元，在手訂單充足，其中前道塗膠顯影份額占比處於穩步提升狀態。2024年第一季度，公司新簽訂單情況良好。

“國內半導體市場蓬勃發展，背靠這個偉大的市場，一定能夠培養出來偉大的企業。”宗潤福說，芯源微的企業願景是為客戶創造價值，成為受社會尊重的世界級企業。

對於世界級企業的定義，宗潤福給出的解釋是：首先規模上年收入要超過10億美元；其次一定要走出國門，面向全球市場；最後是要創新引領，不能總是停留在跟隨階段。

“悟出來的機會，闖出來的道路。”宗潤福說，“芯源微的塗膠顯影機經過20年的積累，目前迎來厚積薄發，已經走在通往勝利的道路上。”公司將繼續聚焦主業、聚焦核心競爭力、持續穩定發展。通過高強度自主創新實現良性循環，不斷推出爆款產品，持續提升經營質效，為股東、為社會創造更大的價值。